YJ-700C 是一款气体质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),主要用于精确监测和控制气体流量,适用于实验室、工业过程控制、半导体制造、环境监测等领域。以下是关于该设备的关键信息和技术细节:
核心功能
流量测量与控制
基于热式质量流量传感原理,直接测量气体的质量流量(而非体积流量)。
闭环控制功能,通过比例阀调节气体流量至设定值。
适用场景
高精度工艺(如半导体镀膜、光伏制造)。
实验室气体分析(如气相色谱、燃烧实验)。
工业过程控制(化工、制药、环保)。
主要技术参数
(具体数值可能因型号配置而异,需以实际产品手册为准)
量程范围:常见规格如 0-50 SCCM(标准毫升每分钟)、0-500 SCCM、0-5 SLM(标准升每分钟)等,支持定制。
精度:典型值为满量程的 ±1% ~ ±1.5%。
重复性:±0.2% ~ ±0.5%。
响应时间:通常 <1 秒(从设定值变化到稳定流量的时间)。
耐压范围:入口压力一般支持 0.1~1 MPa(需避免超压)。
兼容气体:多种气体(如 N₂、O₂、Ar、He、CO₂ 等),腐蚀性气体需定制材料(如哈氏合金)。
工作温度:0~50°C(避免冷凝或高温环境)。